机译:通过聚焦离子束和低温深反应离子刻蚀相结合的干法制造微型器件
机译:使用聚焦电子束诱导的XeF2气体刻蚀在多层硅基膜中制备纳米孔
机译:通过局部聚焦离子束注入和深反应离子刻蚀在硅基板上制备高纵横比的纳米通道
机译:使用聚焦离子束(FIB)和KOH蚀刻制备纳米束
机译:第一部分:基于硅和钙二硅化物的复合生物材料的制备和表面改性。第二部分:铝和氧化锌包裹的掺ped硅纳米晶体的合成与表征。
机译:填料/聚合物纳米复合材料制备方法的发展:以简单的基于熔体复合的方法为重点而无需对纳米填料进行表面改性
机译:基于聚焦离子束的纳米结构光子器件制造
机译:用KOH /醇/水蚀刻制备真空微电子的硅场发射尖端。